7N Grade Synthetic Quartz Sand har kommet inn i masseproduksjon!

I lang tid har mitt lands halvlederindustriskjede vært sterkt avhengig av import for 7N-klasse høy-renhet kvarts sand, brukt i avanserte halvlederproduksjonsprosesser. Dette har vært en viktig flaskehals i bransjekjeden. Etter hvert som ChIP -teknologien fortsetter å utvikle seg, har avanserte prosesser stilt ekstremt strenge krav til renhet, ensartethet og stabilitet i kvartsunderlaget.

Nylig har en kinesisk kvartsfabrikk oppnådd et betydelig teknologisk sprang fra naturlig kvartsmalmrensing til kjemisk syntese av høy renhet. De har etablert en omfattende teknologikjeden som omfatter forløperteknologi, kjemiske synteseprosesser, utvikling av kjerneutstyr og anvendelsesverifisering. De har utviklet og masseprodusert 7N-klasse (99.99999%) syntetisk kvartssand med et totalt spesifikt urenhetsinnhold på mindre enn 20 ppb, med helt uavhengige immaterielle rettigheter. Denne syntetiske sanden brukes i produksjonen av kvarts-kvarts-krusibler, fotolitografi og etsningsprosesser, blant andre viktige prosesser.

Denne suksessen er ingen tilfeldighet. Selskapet har jevnlig akkumulert erfaring med syntese av høy renhet, utviklet en rekke avanserte teknologier for prosesskontroll, og prioritert detaljert optimalisering, for eksempel råmaterialens renhetskontroll, gjenværende materialfjerning, partikkelstørrelseskontroll, spredningsteknologi og dopingprosesser. Disse teknologiene er blitt omgjort til konkurrerende patenter.

Prosess for syntetisering av kvartssand med høy renhet fra silisiumtetraklorid ved væskefase-hydrolyse

Denne oppfinnelsen avslører en prosess for syntetisering av kvartssand med høy renhet fra silisiumtetraklorid ved væskefase-hydrolyse. Prosessen involverer væskefase-hydrolyse av silisiumtetraklorid med vann. Produktet gjennomgår vasking, fast-væske-separasjon, tørking, kalsinering, sliping og screening for å oppnå kvartspulver med høy renhet. Et oppvarmingstrinn er inkludert under faste-væske-separasjon, mellom vasking og fast-væske-separasjon, eller under vasking for å fremme nedbrytning av ortosilicic acid til metasilinsyre, lette overføring og rengjøring og redusere råstoffavfall. Tørketemperaturen er 100-200 grader, og kalsineringstemperaturen er 1300-1500 grader. Kalsineringsovndesignet er optimalisert for å sikre jevn oppvarming og forhindre pulveragglomerering.

Prosess for å tilberede ultrahøyt renhet amorf silisiumdiodiget kvartssand

Denne oppfinnelsen avslører en prosess for å tilberede ultrahøyt renhet amorf silika syntetisert kvartssand. Prosessen involverer høye temperatur- og høytrykksreaksjonen av amorf silika, en mineralisator og ultrapurvann, etterfulgt av solid-væske-separasjon under utslipp. Produktet blir deretter malt, syrevasket, rengjort og tørket for å oppnå produktet. Denne prosessen bruker reaktortrykk for å oppnå solid-væske-separasjon under lossing, og sparer kostnader. Den bruker også amorf silika, og kan skilte med høy og kontrollerbar renhet, og lindrer mangelen på høykvalitets kvartsmalm i landet mitt. Den resulterende kvartssanden har et lite aluminiuminnhold og en lav total mengde på ni urenheter.

En halvlederklasse syntetisk kvarts forberedelsesprosess

Denne syntetiske kvartspreparasjonsprosessen for halvledergrad inkluderer fire trinn: materialforberedelse, fjerning av urenheter, ionebytte og aldringsrensing. Materiell preparat innebærer å tilsette alkali metallsilikat til utstyret og løse opp og fortynne det med middels temperatur rent vann. Fjerning av urenhet innebærer å tilsette en urenhetsfjerner, omrøring, slik at blandingen kan sette seg og filtrere for å skille tungmetallhydroksider og løsningen som kan byttes. Ionutveksling innebærer å passere løsningen som skal byttes gjennom en sterk syringskationsutvekslingskolonne for å fjerne kalsium- og natriumioner, noe som resulterer i en sol. Aldringsrensing innebærer å la SOL stå for å produsere en innledende gel, som deretter blir utsatt for aldring, vasking, tørking, pulverisering, sintring og ultrahøy renhetsrensing for å oppnå produktet. Denne prosessen bruker integrert utstyr for å forbedre automatisering og effektivitet.